Utility

1. ระบบห้องสะอาด (Cleanroom)

คือ ห้องที่ถูกออกแบบเป็นพิเศษเพื่อใช้ผลิตแผ่นวงจรรวม แบ่งพื้นที่ออกเป็น 2 ส่วนคือ ระดับความสะอาดคลาส 100 (จำกัดอนุภาคขนาดตั้งแต่ 0.5 ไมโครเมตรให้อยู่ในปริมาตรอากาศ 1 ลูกบาศก์ฟุตไม่เกิน 100 ชิ้น) และระดับความสะอาดคลาส 10,000 ซึ่งทั้งโครงสร้างและอุปกรณ์ที่สำคัญล้วนได้รับการออกแบบและก่อสร้างที่คำนึงถึงประสิทธิภาพในการผลิตเป็นหลัก เพื่อให้ได้ห้องสะอาดที่สามารถควบคุมความสะอาด, อุณหภูมิ, ความชื้น และสภาพแวดล้อมต่างๆ ที่คงที่และเหมาะสมในการผลิตแผ่นวงจรรวมประสิทธิภาพสูง โดยอุณหภูมิอยู่ที่ 22 องศาเซลเซียส และค่าความชื้นสัมพัทธ์ประมาณ 45%

2.ระบบไฟฟ้า (Electrical System)

ระบบไฟฟ้าหลักสำหรับเครื่องจักรกระบวนการผลิตและระบบสาธารณูปโภคได้รับมาจากโรงไฟฟ้านครเนื่องเขต (Gulf JP NNK) ผู้ผลิตไฟฟ้าระดับอุตสาหกรรมที่มีสถิติไฟฟ้าขัดข้องน้อยครั้ง นอกจากนั้นเราได้เสริมความมั่นคงของเสถียรไฟฟ้าด้วยระบบไฟฟ้าสำรองจากเครื่อง Uninterruptible Power Supply (UPS) ชนิด True Online จำนวน 1600 kVA เพื่อความมั่นใจได้ถึงคุณภาพไฟฟ้าสูงสุดสำหรับกำลังการผลิตและประสิทธิภาพในการทำงานที่ไม่มีสะดุดและตรงตามแผนที่ได้วางไว้

3. ระบบน้ำสะอาด (Ultradeionized water)

เนื่องจากน้ำที่ใช้ในการผลิตวงจรรวมนั้น จำเป็นต้องมีความบริสุทธิ์สูงและไม่มีปริมาณอิออนหลงเหลืออยู่ เพื่อป้องกันการลัดวงจรของเส้นลายวงจรรวม เราจึงให้ความสำคัญกับระบบการผลิตน้ำเป็นพิเศษ โดยศูนย์ฯมีระบบผลิตน้ำบริสุทธิ์ (Ultradeionized water) ที่สามารถผลิตน้ำสะอาดหรือ UDI Water ได้ถึง 3.5 ลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง และมีค่าความต้านทานไม่ต่ำกว่า 18 เมกะโอห์ม-เซนติเมตร

4.ระบบจ่ายอากาศสะอาดสำหรับเครื่องจักร
(Compressed Dry Air System)

ระบบอัดอากาศสะอาด (Compressed Dry Air) เป็นระบบที่มีความสำคัญต่อกระบวนการผลิต เช่น การควบคุมการทำงานของเครื่องจักร อย่างระบบนิวเมติกส์ที่ต้องอาศัยการควบคุมการเปิด-ปิดวาล์ว เป็นต้น ซึ่งคุณสมบัติของอากาศสะอาดจะเป็นระบบ ปราศจากน้ำมัน 100% (oil free) และสิ่งปนเปื้อน อีกทั้งยังควบคุมอุณหภูมิความชื้นให้เหมาะสมต่อเครื่องจักร โดย Dew point ที่ออกจากระบบอัดอากาศสะอาดทำได้ถึง -50 deg C จึงมั่นใจได้ว่าเครื่องจักรในระบบการผลิตมีความสะอาดอย่างมาก และปราศจากความชื้นและไอน้ำในระบบ เพื่อให้การผลิตชิ้นงานออกมาได้อย่างมีคุณภาพและน่าเชื่อถือ

5. ระบบบำบัดอากาศและน้ำเสีย (Exhaust and Wastewater Treatment System)

นอกจากประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ที่ทางศูนย์คำนึงถึงเป็นพิเศษแล้ว สิ่งแวดล้อมก็เป็นอีกหนึ่งสิ่งที่เราคำนึงถึงเสมอมา เราจึงเอาใจใส่ในทุกขั้นตอน ของระบบการบำบัดของอากาศและน้ำเสียที่มาจากกระบวนการผลิต อีกทั้งได้ทำการตรวจวัดคุณภาพอากาศและน้ำอย่างสม่ำเสมอ

 
Copyright © 2008 Thai Microelectronics Center