bg_infrastructure
 

อาคารสถานที่และระบบสาธารณูปโภค

 

เครื่องมือ เทคโนโลยีและสาธารณูปโภคที่ครบครันและตรงตามมาตรฐานของ อุตสาหกรรมผลิตแผ่นวงจรรวมระดับสากล รวมถึงความเชี่ยวชาญของบุคลากรที่ได้รับการยอมรับ เป็นเสมือนพื้นฐานสำคัญในการพัฒนาและต่อยอดสู่บริการที่เป็นเลิศและผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูง เพื่อก้าวสำคัญของธุรกิจคุณ

 

ความพร้อมด้านสาธารณูปโภค ถือเป็นข้อได้เปรียบในการวิจัยและพัฒนาเพื่อบริการ และผลิตภัณฑ์ที่เหนือกว่าของเรา สาธารณูปโภคภายในศูนย์ฯ มีดังนี้

คือ ห้องที่ถูกออกแบบเป็นพิเศษเพื่อใช้ผลิตแผ่นวงจรรวม ซึ่งสามารถแบ่งพื้นที่ออกเป็น 2 ส่วนคือ ระดับความสะอาดคลาส 100 เพื่อเป็นพื้นที่การผลิต (Process Area) และระดับความสะอาดคลาส 10,000 เพื่อเป็นพื้นที่บริการ (Service Area) โดย ทั้งโครงสร้างและอุปกรณ์ที่สำคัญล้วนได้รับการออกแบบที่คำนึงถึงประสิทธิภาพในการผลิตเป็นหลัก อีกทั้งยังมีการตรวจสอบการก่อสร้างตามมาตรฐานของอุตสาหกรรมผลิตแผ่นวงจรรวมทั่วโลก เพื่อให้ได้ห้องสะอาดที่สามารถควบคุมความสะอาด, อุณหภูมิ, ความชื้น และสภาพแวดล้อมต่างๆ ที่คงที่และเหมาะสมในการผลิตแผ่นวงจรรวมประสิทธิภาพสูง โดยอุณหภูมิอยู่ที่ 22 องศาเซลเซียส และค่าความชื้นสัมพัทธ์ประมาณ 45%นอกจากนี้ ยังมีการควบคุมคุณภาพของอากาศจากภายนอกที่จะเข้ามายังห้องสะอาด ด้วยระบบ Make up Air Unit (MAU) ด้วยฟิลเตอร์ถึง 3 ชุดเพื่อกรองฝุ่นหรือสิ่งที่ปะปนเข้ามากับอากาศภายนอก ยิ่งกว่านั้นภายในห้องสะอาดยังติดตั้ง ULPA Filter ที่สามารถกรองฝุ่นละเอียดที่มีขนาด 0.12 ไมครอน ได้ถึง 99.9999% คุณจึงสามารถมั่นใจเต็มร้อยถึงประสิทธิภาพของแผ่นวงจรรวมของเรา

เนื่องจากน้ำที่ใช้ในการผลิตวงจรรวมนั้น จำเป็นต้องมีความบริสุทธิ์สูงและมีปริมาณอิออนต่ำ เพื่อป้องกันการลัดวงจรของเส้นลายวงจรรวม เราจึงให้ความสำคัญกับระบบการผลิตน้ำเป็นพิเศษ ภายในศูนย์ฯ แบ่งระบบการผลิตน้ำสะอาดออกเป็น 2 ระบบ คือ

1. ระบบ Pre-Treatment เป็นระบบการทำความสะอาดน้ำเบื้องต้น เพื่อปรับน้ำดิบที่มีความกระด้างปะปนอยู่ให้เป็นน้ำอ่อน (Soft Water) โดยการกำจัดพวกของแข็งแขวนลอย ความขุ่น ตะกอน สารอินทรีย์ละลายและคลอรีน รวมทั้งอิออนต่างๆ

2. ระบบ Ultra Deionized (UDI) Water เป็นระบบการทำความสะอาดน้ำอ่อน (Soft Water) ให้เป็นน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง โดยทำการกำจัดอิออนต่างๆ ที่เหลือจากการทำความสะอาดน้ำเบื้องต้น อีกทั้งยังฆ่าจุลินทรีย์ที่ปะปนมากับน้ำ เพื่อให้ได้น้ำความบริสุทธิ์สูงตรงตามมาตรฐานในการผลิตวงจรรวม ซึ่งโดยปกติ ศูนย์ฯ สามารถผลิตน้ำสะอาดหรือ Ultra Deionized (UDI) Water ได้ถึง 3.5 ลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง และมีค่าความต้านทานไม่ต่ำกว่า 18 เมกะโอห์ม-เซนติเมตร

ในกระบวนการผลิตวงจรรวมจำเป็นต้องใช้ก๊าซ 2 ประเภท คือ ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิต (Process Gas) เช่น SiH4, NH3, PH3, SiH2CI2, CI2, BCI3, HBr, BF3, AsH3, He, Ar, CF4, CHF3 และ SF6 และก๊าซที่ใช้สำหรับบริการเครื่องจักรหรือใช้กับระบบสนับสนุน (Non-Process Gas) เช่น O2, N2, H2 และ LPG ระบบการจ่ายก๊าซต่างๆ ได้รับการออกแบบตามมาตรฐานการติดตั้งใช้งาน และมาตรฐานความปลดภัยอย่างครบถ้วน เช่น การออกแบบห้องเก็บก๊าซ ระบบตรวจจับและเตือนภัยเพื่อแจ้งให้แก่ผู้ปฏิบัติงาน ระบบวาล์วนิรภัยที่จะทำการปิดการจ่ายก๊าซทันทีที่ระบบตรวจพบการรั่ว ระบบดับเพลิงด้วยคาร์บอนไดออกไซด์ และระบบ Exhaust เป็นต้น

อากาศสะอาด (Compressed Dry Air) เป็นอีกหนึ่งปัจจัยที่จำเป็นต้องใช้ในกระบวนการผลิตวงจรรวม เช่น การควบคุมการทำงานของเครื่องจักร อย่างระบบนิวแมติกส์หรือการควบคุมการเปิด-ปิดวาล์ว เป็นต้น ซึ่งคุณสมบัติของอากาศสะอาดนี้ต้องปราศจากฝุ่นละออง, สิ่งปนเปื้อน, ความชื้น และไอน้ำมัน อีกทั้งยังต้องควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสมกับการใช้งานอีกด้วย

ระบบการทำน้ำเย็นสำหรับกระบวนการผลิต จะทำการผลิตน้ำเย็นโดยใช้หลักการระบายความร้อน ด้วยอากาศ โดยน้ำเย็นจะถูกแบบนำไปใช้ 2 ส่วน ดังนี้ ส่วนแรกจะถูกส่งไปยังเครื่องจักรที่ใช้ในการกระบวนการผลิตภายในห้องสะอาด ในขณะที่อีกส่วนจะถูกนำไปใช้กับอุปกรณ์ของระบบ Process Vacuum และ Compressed Dry Air เพื่อใช้ในการหล่อเย็นขณะทำงาน รวมทั้งจ่ายให้กับอุปกรณ์ของระบบ DI Water

นอกจากประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ที่เราคำนึงถึงเป็นพิเศษแล้ว สิ่งแวดล้อมก็เป็นอีกหนึ่งสิ่งที่เราคำนึงถึงเสมอมา เราจึงเอาใจใส่ในทุกขั้นตอนของระบบการบำบัดของเสีย สำหรับอากาศเสียที่มาจากเครื่องจักรต่างๆ ในห้องสะอาด ทางศูนย์ฯ เลือกใช้ระบบการบำบัดอากาศเสีย โดยแยกตามชนิดของก๊าซที่ต้องการบำบัดออกเป็น 4 ประเภท ดังนี้

1. Acid Exhaust System คือ ระบบบำบัดและกำจัดไอระเหยของสารจำพวกกัดกร่อน เช่น ไอของกรด-ด่าง ที่เกิดจากกระบวนการผลิตวงจรรวม

2. Organic Exhaust System คือ ระบบบำบัดและกำจัดไอของสารระเหยจำพวกตัวทำละลาย เช่น Isopropyl Alcohol (IPA)

3. General Exhaust System คือ ระบบระบายอากาศทั่วไป ทั้งงานระบายอากาศตามอาคารหรือ โรงงานอุตสาหกรรม ซึ่งจะช่วยในการหมุนเวียนถ่ายเทอากาศในบริเวณนั้นๆ นอกจากนั้นยังเป็นการนำอากาศเสียไปทิ้งอีกด้วย ซึ่งจำเป็นสำหรับห้องที่มีกลิ่น ควัน ไอเสียต่างๆ ซึ่งหากมีการสะสมจะส่งผลเสียต่อผู้ปฏิบัติงาน

4. Stripping Unit System คือ ระบบบำบัดก๊าซที่เกิดจากกระบวนการผลิตให้มีองค์ประกอบไม่เกินค่ามาตรฐานสิ่งแวดล้อมก่อนปล่อยสู่บรรยากาศ ซึ่งเป็นระบบการบำบัดขั้นที่ 2 ต่อจากอุปกรณ์บำบัดเฉพาะส่วน (Point of Use Scrubber) ซึ่งเป็นขั้นตอนแรกในการบำบัดก๊าซเสียซึ่งถูกส่งออกมาจากเครื่องจักรต่างๆ

นอกจากระบบบำบัดอากาศเสียแล้ว เรายังทำการบำบัดน้ำเสียก่อนออกจากศูนย์อีกด้วย โดยน้ำเสียที่ออกมาจากระบบการผลิตจะถูกแยกเข้าสู่ถังเก็บ เพื่อดำเนินการบำบัดเฉพาะในแต่ละชนิด ซึ่งตะกอนที่เหลือจากการบำบัด จะถูกแยกออกด้วย Pressed Filter เพื่อแปรสภาพเป็นของแข็งที่ไม่มีพิษต่อไป น้ำเสียที่เกิดจากขบวนการผลิตภายในศูนย์นั้น แบ่งออกเป็น 4 ประเภท ดังนี้

1. HF Wastewater คือ น้ำเสียที่มีส่วนผสมของกรดไฮโดรฟลูออริก (Hydrofluoric) ถึงปริมาณที่กำหนด

2. Acid – Alkaline Wastewater คือ น้ำเสียที่มีส่วนผสมของสารเคมีจำพวกกรด-ด่างถึงปริมาณที่กำหนด

3. Organic Wastewater คือ น้ำเสียที่มีส่วนผสมของสารประกอบประเภทอินทรีย์ต่างๆ ถึงปริมาณที่กำหนด

4. UDI Wastewater คือ น้ำเสียที่มีความสกปรกน้อยที่สุด โดยมีปริมาณการปนเปื้อนถึงปริมาณที่กำหนด

มั่นใจได้ถึงกำลังการผลิตและประสิทธิภาพในการทำงานที่ไม่มีสะดุดและตรงตามแผนที่ได้วางไว้ เพราะเราเตรียมพร้อมอยู่เสมอด้วยระบบไฟฟ้าสำรองกรณีไฟดับ ซึ่งประกอบด้วย Generator ขนาด 135 kVA เป็นการสร้างไฟฟ้ากระแสสลับเพื่อจ่ายให้แก่โหลดแสงสว่างฉุกเฉินและระบบระบายอากาศ บางส่วนภายในห้องสะอาดในกรณีไฟฟ้าขัดข้องชั่วคราว และ Uninterrupting Power Supply (UPS) ทำหน้าที่ในการจ่ายโหลดเพื่อความสม่ำเสมอของแรงดันไฟฟ้าในสภาวะปกติ และป้องกันการหยุดชะงักของการทำงานของอุปกรณ์ไฟฟ้าในกรณีที่สภาวะไฟฟ้าขัดข้อง

เป็นระบบสำหรับควบคุมดูแลและตรวจสอบการทำงานของระบบอื่นๆ ที่ทำงานอย่างต่อเนื่องตลอดเวลา รวมถึงระบบรักษาความปลอดภัยในอาคาร เช่น ระบบป้องกันเพลิงไหม้ (Fire Alarm System) ระบบ Access Control และระบบตรวจสอบก๊าซรั่ว (Gas Detector) นอกจากนั้น เรายังติดตั้งอุปกรณ์สำหรับการควบคุมและตรวจสอบทุกระบบรวมมากกว่า 1,300 จุด สำหรับควบคุมการทำงานและเก็บข้อมูลต่างๆ เพื่อประสิทธิภาพในการดูแลความปลอดภัยสูงสุด

 
 
 
 
Copyright © 2008 Thai Microelectronics Center