บริการวิเคราะห์สมบัติทางวัสดุ (MATERIALS CHARACTERIZATION)

ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (TMEC) เปิดให้บริการวิเคราะห์สมบัติโครงสร้างและองค์ประกอบทางเคมีของวัสดุด้วยเทคนิคต่าง ๆ โดยผู้เชี่ยวชาญมามากกว่า 15 ปี ทั้งในและนอกประเทศ โดยวิเคราะห์ภายใต้ Cleanroom Class 1000 ซึ่งปราศจากการปนเปื้อนจากสิ่งแวดล้อม โดยเทคนิคที่ให้บริการมีดังนี้



โอเจร์อิเล็กตรอนสเปกโทรสโกปี (Auger Electron Spectroscopy : AES)  เป็นเทคนิคการวิเคราะห์องค์ประกอบธาตุบนพื้นผิวระดับนาโนเมตร สามารถวิเคราะห์หาแหล่งปนเปื้อน
บนพื้นผิวผลิตภัณฑ์ในกระบวนการผลิต หรือใช้วิเคราะห์หาสาเหตุความบกพร่อง (Failure Analysis) ที่เกิดขึ้นได้





กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดชนิดฟิลด์อิมิสชัน (Field Emission Scanning
 Electron Microscope : FESEM) 

 เป็นการวิเคราะห์โครงสร้างจุลภาควัสดุของแข็งระดับนาโนเมตร
 ด้วยกำลังขยายสูงสุดถึง 500,000 เท่า และความสามารถแจกแจงรายละเอียด (Resolution)
 ที่ 1.5 นาโนเมตร สามารถถ่ายภาพได้ทั้งบนพื้นผิว และ ภาคตัดขวาง



ตัวอย่างภาพ FE-SEM
 


 

 
 

Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS หรือ EDX) เป็นเทคนิคการวิเคราะห์องค์ประกอบธาตุ
   ตั้งแต่ โบรอน -ยูเรเนียม ของวัสดุของแข็งในพื้นที่ระดับต่ำกว่าไมโครเมตร และยังสามารถวิเคราะห์
   การกระจายตัวของธาตุ แสดงเป็นแผนที่ได้ (Mapping) โดยสามารถตรวจวัดปริมาณธาตุได้ต่ำสุด  0.1 เปอร์เซ็นต์โดยน้ำหนัก (wt.%)
 


ภาพตัดขวางแสดงการเกิดพลังงานต่าง ๆ เมื่อมี Primary Electrons ตกกระทบลงบนพื้นผิววัสดุทึ่ความลึกแตกต่างกัน
ที่มาภาพ : https://www.nanoimages.com/sem-technology-overview/sem_img6/


 

ตารางเปรียบเทียบเทคนิค FE-SEM, EDX และ AES

Technique FE-SEM EDX AES
Probe electrons electrons Electrons
Detection secondary and backscattered electrons X-rays Auger Electrons
Collected Data Pictures Qualitative elemental analysis Elemental Composition
Typical Analysis Area 1.5 nm (500,000 X) 100 nm – 1um 10 nm – 10 um
Typical Analysis Dept rang 1-100 nm um 10 nm
Type of experiments Metal
Oxides
Ceramics
Polymers
Nanomaterials
Powder
Glasses
Bio-materials
Semiconductors
Rubber
metals glass ceramics Polymers Film oxides Metal
Oxides
Ceramics
Polymers
Nanomaterials
Powder
Glasses
Bio-materials
Semiconductors

สามารถสอบถามค่าบริการ จองคิว และเวลาได้ที่

โทร : 038-857100 - 8

แฟกซ์  : 038-857175

Email : [email protected]

เปิดให้บริการวัน จันทร์ - ศุกร์ 8.30 – 17.00 น.
 
 
 
Copyright © 2008 Thai Microelectronics Center